壓力變送器傳感器的過載保護實現(xiàn)
點擊次數(shù):4505次 更新時間:2018-01-04
壓力變送器一般意義上主要由測壓元件傳感器、測量電路和過程連接件三部分組成。它能將測壓元件傳感器感受到的氣體、液體等物理壓力參數(shù)轉(zhuǎn)變成標準的電信號,以供給指示報警儀、記錄儀、調(diào)節(jié)器等二次儀表進行測量、指示和過程調(diào)節(jié)。
壓力變送器傳感器有很多參數(shù)指標,其中有一項是過載保護,過載就是負荷過大,超過了設備本身的額定負載,產(chǎn)生的現(xiàn)象是電流過大,用電設備發(fā)熱,線路長期過載會降低線路絕緣水平,甚至燒毀傳感器設備或線路,過載保護就是即使負荷超過了額定負載也不會出現(xiàn)燒壞線路的情況,但是也有一個度,一般是150%的范圍內(nèi),而且不能持續(xù)過載工作。
壓力變送器傳感器有很多形式,每種結(jié)構(gòu)形式的過載保護設計方法也是各不相同的。在設計過載保護時,一般采用凸臺等方法實現(xiàn),形成方法有背部刻蝕技術(shù)、硅直接鍵合技術(shù)、玻璃刻蝕技術(shù)等。然而這些結(jié)構(gòu)一般都有一個很大的局限性就是腔體尺寸較大,進一步提高靈敏度受到限制,而且降低了硅片利用率,增加了制造工藝的復雜度,提高了生產(chǎn)成本。目前小量程、高靈敏傳感器的研究熱點集中在犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器,這主要是因為犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器彈性膜片很薄。在這樣薄的結(jié)構(gòu)上,如果采用擴散硅或多晶硅薄膜作為犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的應變電阻,其厚度相對較大,對彈性膜片應力分布影響很大,不利于犧牲層結(jié)構(gòu)壓力傳感器的性能優(yōu)化,因此采用多晶硅納米薄膜制作應變電阻更能發(fā)揮犧牲層技術(shù)的優(yōu)點。
過載保護是每種傳感器都要考慮的,因為在使用過程中可能會出現(xiàn)測量值大于量程的情況,只有設計了過載保護的壓力變送器傳感器才能更好的使用,也才能使用得更久。具體每種傳感器的過載保護是如何設計的,過載范圍是多少都是不同的,所以不管哪種傳感器一定要了解它的過載保護是多少,這樣才能更好的方便使用,在未來使用過程中也不會出現(xiàn)由于過載燒壞電路的情況。
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